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SJ6000設備直線度激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000高穩(wěn)定性激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數(shù)；位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優(yōu)勢和適用性。

SJ6000高精度激光干涉儀測量系統(tǒng)集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。儀器具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000激光切割機精度激光干涉校準儀采用進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、雙縱模熱穩(wěn)頻技術、多參數(shù)環(huán)境補償技術、高速數(shù)字信號處理系統(tǒng)等技術，通過與不同的光學鏡組結合，實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測。線性測長精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm。

SJ6000激光干涉機床校準儀集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。產(chǎn)品結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

SJ6000位移加速度激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。