中圖儀器SJ6000機床精度激光干涉校準儀集光、機、電、計算機等技術于一體，適用于各種復雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導軌，還可以檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能，減少維護成本和停機時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成?？蓾M足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

（6）SJ6000機床精度激光干涉校準儀支持手動或自動進行環(huán)境補償。

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

測量軟件

（1）友好的人機界面；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程；

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文、英文和俄文界面；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。