以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)的3d輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀是用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器。可以達(dá)到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用

【光學(xué)透鏡檢測】

球面透鏡在可見光領(lǐng)域是一種基礎(chǔ)光學(xué)器件，其光的傳播效果受曲率半徑和表面粗糙度的影響，中圖儀器SuperView W1 光學(xué)3d輪廓儀可以對這兩項(xiàng)參數(shù)同時(shí)進(jìn)行檢測。

某型號雙膠合透鏡的曲率半徑和表面粗糙度檢測

【玻璃表面臺階檢測】

透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，因?yàn)槠浞峭该魈匦?，薄膜測厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的，不管是非接觸式光學(xué)儀器還是接觸式臺階儀，都存在測量誤差，而中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀的測量精度達(dá)到亞納米級，可以對膜層厚度進(jìn)行一鍵測量。

儀器軟件對兩臺階高的檢測