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白光干涉儀系統(tǒng)構(gòu)造介紹

更新時(shí)間:2022-03-08點(diǎn)擊次數(shù):2666

白光干涉輪廓儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:

  1. 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等等)。

  2. 幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和體積,特征圖形的位置和數(shù)量等等)。


  白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域的高精度檢測(cè)儀器。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域,除了白光干涉儀,其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。


  白光干涉儀由以下幾部分構(gòu)成:

  1. 光學(xué)照明系統(tǒng)采用鹵素光源,其中心波長(zhǎng)為576納米,光譜范圍從340納米到780納米。

  2. 光學(xué)成像系統(tǒng)采用無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)成像系統(tǒng),由顯微物鏡和成像目鏡組成。垂直掃描控制系統(tǒng)由壓電陶瓷以及控制驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成,采用閉環(huán)反饋控制方法,可精密驅(qū)動(dòng)顯微物鏡上下移動(dòng),移動(dòng)范圍100mm。位置移動(dòng)精度為0.1納米。

  3. 信號(hào)處理系統(tǒng)信號(hào)處理系統(tǒng)是該儀器的核心部分,由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù)。然后使用專用的數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。

  4. 應(yīng)用軟件主要由操作控制部分,結(jié)果顯示部分以及后處理部分組成。主要用于操作控制表面形狀測(cè)量?jī)x器。同時(shí),以三維立體,二維平面以及斷面分布曲線方式顯示實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果。并可對(duì)測(cè)量結(jié)果作進(jìn)一步的修正處理。



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